Tài liệu chuyên ngành xây dựng, khoa học kỹ thuât, máy móc...
Nội quy chuyên mục: - Hiện nay có khá nhiều trang chia sẻ Tài liệu nhưng mất phí, đó là lý do ket-noi mở ra chuyên mục Tài liệu miễn phí.

- Ai có tài liệu gì hay, hãy đăng lên đây để chia sẻ với mọi người nhé! Bạn chia sẻ hôm nay, ngày mai mọi người sẽ chia sẻ với bạn!
Cách chia sẻ, Upload tài liệu trên ket-noi

- Những bạn nào tích cực chia sẻ tài liệu, sẽ được ưu tiên cung cấp tài liệu khi có yêu cầu.
Nhận download tài liệu miễn phí
Hình đại diện của thành viên
By tctuvan
#987375 Link tải miễn phí luận văn


THÔNG TIN TÓM TẮT VỀ NHỮNG KẾT LUẬN MỚI CỦA LUẬN ÁN TIẾN SĨ
Tên luận án: Nghiên cứu vi động cơ kiểu tĩnh điện dựa trên công nghệ vi cơ điện tử
Chuyên ngành: Kỹ thuật cơ khí Mã số: 62520103
Nghiên cứu sinh: Đặng Bảo Lâm
Người hướng dẫn khoa học: PGS.TS. Vũ Ngọc Hùng, PGS.TS. Phạm Hồng Phúc
Cơ sở đào tạo: Trường Đại học Bách khoa Hà Nội

TÓM TẮT KẾT LUẬN MỚI CỦA LUẬN ÁN

1. Trong các bộ kích hoạt/chấp hành tĩnh điện răng lược, khi xét đến ảnh hưởng
của hiệu ứng viền, các lực tĩnh điện đều có giá trị lớn hơn khi không xét đến
hiệu ứng này. Cùng với đó, chuyển vị trong bộ kích hoạt/chấp hành răng lược
khi kể đến ảnh hưởng của hiệu ứng viền cũng có giá trị sát với kết quả mô
phỏng và đo đạc thực nghiệm hơn so với giá trị tính toán không kể đến ảnh
hưởng của hiệu ứng.
2. Thiết kế, chế tạo ba loại vi động cơ quay kiểu tĩnh điện với một số các ưu điểm
như: điều khiển đơn giản, được chế tạo với chỉ một mặt nạ và bằng công nghệ
vi cơ khối tiêu chuẩn, có công suất truyền lực lớn hơn các vi động cơ được chế
tạo bằng công nghệ vi cơ bề mặt.
3. Xét ảnh hưởng của hiệu ứng viền khi tính toán điện áp dẫn tối thiểu cho các vi
động cơ. Kết quả cho thấy điện áp dẫn trong cả ba kiểu động cơ đều giảm khi
kể đến hiệu ứng viền.
4. Các vi động cơ được thiết kế theo hướng hoàn thiện, khắc phục những nhược
điểm còn tồn tại. Cụ thể là các vi động cơ kiểu 2 và kiểu 3 được thiết kế để
khắc phục hiện tượng trượt xảy ra trong vi động cơ kiểu 1. Kết quả đo đạc thực
nghiệm của vi động cơ kiểu 2 cho thấy vận tốc góc của động cơ này bám sát
các giá trị tính toán lý thuyết hơn so với vận tóc góc của vi động cơ kiểu 1.
MỞ ĐẦU
Tính cấp thiết của đề tài
Ngày nay, Vi Cơ Điện tử - MEMS là một trong những lĩnh vực khoa học liên ngành phát
triển mạnh mẽ. Các bộ kích hoạt/chấp hành kích cỡ micro (micro actuator), các vi động cơ
(micro motor) cùng với các micro robot là những thành phần quan trọng không thể thiếu
đƣợc dùng để vận chuyển, phân loại và lắp ghép những vi mẫu trong các hệ vi vận tải, hệ
vi phân tích tổng hợp (-TAS), hệ phân tích sinh hóa… Để tạo ra chuyển động, có thể sử
dụng nhiều hiệu ứng nhƣ hiệu ứng từ, nhiệt, áp điện và tĩnh điện... Trong đó, hiệu ứng tĩnh
điện có thể tạo ra chuyển động đẳng hƣớng một cách đơn giản và hiệu quả nhất. Đã có khá
nhiều công trình khoa học đƣợc công bố trên thế giới về các vi động cơ kiểu tĩnh điện và
ứng dụng của chúng, tuy nhiên ở nƣớc ta, lĩnh vực nghiên cứu về các hệ vi cơ điện tử nói
chung và các vi động cơ nói riêng mới chỉ bắt đầu phát triển trong một vài năm gần đây.
Một trong những xu hƣớng phát triển tất yếu trong thế kỷ 21 là đƣa các thiết bị, máy móc,
hệ thống kỹ thuật với kích thƣớc nhỏ tính theo đơn vị micro hay nano vào nghiên cứu, sản
xuất cũng nhƣ ứng dụng trong cuộc sống hàng ngày. Việc nghiên cứu, nắm rõ đặc tính của
các thành phần chính của các vi hệ thống nhƣ vi động cơ và vi cơ cấu đóng vai trò quan
trọng, ảnh hƣởng quyết định đến hiệu suất, tuổi thọ cũng nhƣ độ chính xác của toàn bộ hệ
thống. Tuy nhiên cho đến nay, đa phần các công trình nghiên cứu về các vi cơ cấu cũng
nhƣ các vi động cơ đều đƣợc tiến hành rải rác, chƣa có hệ thống, chủ yếu chỉ trong các
trƣờng hợp cụ thể nhằm phục vụ cho các đối tƣợng cụ thể. Vì vậy, tác giả lựa chọn đề tài
“Nghiên cứu vi động cơ kiểu tĩnh điện dựa trên công nghệ Vi Cơ Điện tử” để thực hiện
luận án.
Đối tượng nghiên cứu
Các vi động cơ quay kiểu tĩnh điện (rotational electrostatic micro motors) đƣợc chế tạo
bằng công nghệ gia công vi cơ khối (bulk micro machining technology).
Mục tiêu nghiên cứu
Nghiên cứu một cách có hệ thống về các loại vi động cơ có khả năng ứng dụng trong các
hệ micro robot, hệ vi vận tải và vi lắp ghép… từ đó đề xuất cấu trúc các vi động cơ quay sử
dụng các bộ vi kích hoạt/chấp hành tĩnh điện răng lƣợc (electrostatic comb-drive
actuators).
Thiết kế và chế tạo các vi động cơ quay kiểu tĩnh điện. Đo đạc, đánh giá đặc tính một số
động cơ từ các thiết kế đƣợc chọn.
Phạm vi nghiên cứu
- Lý thuyết tĩnh điện nói chung và hiệu ứng viền nói riêng, ứng dụng trong thiết kế
các vi động cơ quay sử dụng các bộ vi kích hoạt/chấp hành tĩnh điện răng lƣợc.
- Các vi động cơ kiểu tĩnh điện có khả năng ứng dụng trong các vi robot hay các hệ
vận tải, lắp ghép kích thƣớc micro.
Phương pháp nghiên cứu
Phƣơng pháp nghiên cứu đƣợc sử dụng là kết hợp giữa mô phỏng lý thuyết và thực nghiệm
công nghệ. Để đạt đƣợc các mục tiêu đề ra, các bƣớc nghiên cứu, tính toán, thiết kế sau sẽ
đƣợc tiến hành:
- Vận dụng các kiến thức về cơ học, vật lý, lý thuyết cơ cấu, thiết kế máy … để tính
toán, thiết kế các vi động cơ.
- Sử dụng các phần mềm thiết kế chuyên dụng nhƣ AutoCad, L-Edit để thực hiện
thiết kế sơ bộ. Bản thiết kế đƣợc hoàn thiện, các kích thƣớc đƣợc kiểm nghiệm
bằng phần mềm phần tử hữu hạn ANSYS.
- Các vi động cơ đƣợc chế tạo bằng các công nghệ MEMS tiêu chuẩn và thông dụng
nhƣ công nghệ quang khắc (lithography), công nghệ ăn mòn khô ion hoạt hóa sâu
(DRIE), công nghệ ăn mòn hóa học …
- Đo đạc, đánh giá đặc tính của các sản phẩm đƣợc chế tạo. Phân tích, so sánh với
các kết quả tính toán và mô phỏng.
Ý nghĩa của luận án
Nghiên cứu một cách có hệ thống về các vi động cơ, qua đó lựa chọn đối tƣợng nghiên cứu
phù hợp với tình hình nghiên cứu, phát triển của ngành Công nghệ Vi cơ điện tử tại Việt
Nam.
Tính toán, thiết kế và chế tạo thành công các vi động cơ quay sử dụng các bộ vi kích
hoạt/chấp hành kiểu tĩnh điện dạng răng lƣợc.
Thiết lập quy trình chế tạo cho các vi động cơ, trong đó chỉ sử dụng các công nghệ MEMS
tiêu chuẩn.
Link Download bản DOC
Password giải nén nếu cần: ket-noi.com | Bấm trực tiếp vào Link tải, không dùng IDM để tải:

Bấm vào đây để đăng nhập và xem link!
Kết nối đề xuất:
Hanoi private tour
Advertisement
Advertisement